Energy Dispersive X ray
EDX مخفف کلمات Energy Dispersive X ray است، که برخی اوقات به آن EDS یا EDAX هم می گویند.
این تکنیک روشی برای مشخص کردن ترکیب عنصری یک نمونه یا بخشی از یک نمونه است.
EDX به تنهایی بکار نمی رود بلکه سیستمی است که به همراه میکروسکوپ الکترونی عبوری SEM بوده
و در حقیقیت بخشی از این میکروسکوپ به شمار می رود.
در این روش سطح نمونه توسط یک اشعه الکترونی درون میکروسکوپ تحت بمباران قرار گرفته و با برخورد
الکترونهای این اشعه به الکترونهای مربوط به اتمهای نمونه تحت بررسی، برخی از این الکترونها از جای
خودشان خارج می شوند.
با توجه به اینکه جای اتمها نمیتواند خالی مانده و بایستی بحالت تعادل برسند، الکترونهایی از لایه های
بالاتر اتمی به این جای خالی مهاجرت کرده و جای آن را پر می کنند.
برای انجام این عمل الکترونهایی لایه های بالاتر که انرژی بیشتری دارند، بایستی بخشی از انرژی خود
را از دست بدهند تا به سطح انرژی لایه جدید رسیده و پایدار باشند که این انرژی بصورت اشعه ایکس
منتشر می گردد.
مقدار انرژی آزاد شده بستگی نوع لایه ها دارد هم لایه ای که الکترون از آن جدا شده و هم لایه ای که
الکترون به آن مهاجرت می کند. از طرفی اشعه ایکس اتمهای هر عنصر مقدار انرژی منحصر بفردی در
حین انتقال از لایه ای به لایه دیگر اتمی ساطع از خودشان می کنند. بنابراین با اندازه گیری مقدار انرژی
موجود در اشعه ایکس آزاد شده در یک نمونه در حین بمباران توسط اشعه الکترونی میتوان نوع اتم موجود
را مشخص نمود.
خروجی یک آنالیز EDX طیف EDX است.
طیف EDX فقط یک نمودار است که بر اساس دریافت انرژی ایکس از هر سطح انرژی رسم شده است.
هریک از پیکها در نمودار مختص یک اتم بوده و بنابراین نشانگر فقط یک عنصر میباشند. پیک های با ارتفاع
بیشتر در طیف به معنی غلظت بیشتر عنصر مورد نظر در نمونه است.
در خصوص طیف Edx این نکته را باید ذکر کرد که نوع اشعه X آزاد شده ممکن است متفاوت باشد، بطور
مثال اگر الکترون از لایه L به لایه K مهاجرت کند به اشعه آزاد شده پیک K-Alpha و به پیک ناشی از رفتن
الکترون از لایه M به لایه K پیک K-Beta می گویند.
(WDX Analysis (Wavelength Dispersive X ray
این تکنیک به WDS نیز معروف است.
روش کار این تکنیک مشابه EDX بوده با این تفاوت که آشکارساز این روش اشغه ایکسهای منشتره را بر
اساس طول موجشان به حساب آورده و دسته بندی می کند.
آشکارساز این سیستم از یک کریستال آنالیز کننده اشعه ایکس استفاده می کندکه فقط اجازه پراش
طول موجهای دلخواه را به آشکارساز می دهد.
مزایای WDX در برابر EDX:
1- چلوگیری از روی هم قرار گرفتن پیکهای عناصر مختلف که در EDX معمول است که علت این امر وجود
مزیت تمایز بهتر بین انرژی ها (energy resolution) در WDX می باشد.2- اغتشاشات (noise) موجود در
زمینه (background) کمتر که اجازه آنالیز دقیق تر مقداری را به ما می دهد.
محدودیتها:
1- وقت گیر بودن
2- آسیب بیشتری به نمونه و محفظه وارد می شود زیرا نیاز به اشعه با انرژی بیشتر است.
3- قیمت بالاتر
