من میخام گرافن تک لایه ویا حداقل کم لایه تولید کنم البته با 13.56MHz )PECVD RF) میشه راهنماییم کنین مشکلاتی که احنمالا داشته باشم؟؟؟ بهترین زیرلایه؟ بهترین کاتالیزور؟ بهترین ضخامت کاتالیزور؟ بهتربن دمای کار؟ فشار کاری؟