گرافن +PECVD

ayhan22

عضو جدید
من میخام گرافن تک لایه ویا حداقل کم لایه تولید کنم البته با 13.56MHz )PECVD RF) میشه راهنماییم کنین
مشکلاتی که احنمالا داشته باشم؟؟؟
بهترین زیرلایه؟
بهترین کاتالیزور؟
بهترین ضخامت کاتالیزور؟
بهتربن دمای کار؟
فشار کاری؟
 
بالا