بسم الله الرحمن الرحيم
انعکاس سنجی اشعه ی ایکس(XRR)
انعکاس سنجی اشعه ی ایکس(XRR)
اکثر کاربردهای تکنولوژیکی لایه های نازک نیازمند لایه هایی با ضخامت مشخص است. زیرا غالب خواص لایه های نازک وابسته به ضخامت هستند. بنابراین ، تعیین ضخامت فیلم ، با دقت بالا یک نقطه ی عطف مهمی در این فناوری هاست. XRR یک روش غیرمخرب و غیرتماسی برای تعیین ضخامت بین 2 تا 200 نانومتر با دقتی حدود 1 تا 3 آنگستروم است. علاوه بر تعیین ضخامت ، این روش همچنین جهت تعیین دانسیته و زبری فیلم ها و نیز چند لایه ها با دقت بالا استفاده می شود.
اصول کار
روش XRR شامل ثبت و ضبط اشعه ی ایکس منعکس شده توسط نمونه در زوایای بین اشعه و سطح نمونه ، است. یک پرتوی تک فام از اشعه ی ایکس با طول موج
روی نمونه ای در زاویه ی
و به طور خلاصه مشخصه های زیر از این روش مطرح است :
منبع: http://edu.nano.ir/index.php/articles/show/54
